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技术参数
1.分辨率:高真空(SE)3.0nm at 30kv,低真空模式(BSE,LVSTD)3.5nm at 30kv 2.放大倍数:3 to × 3.真空系统:高真空<1*10 -2Pa, 低真空:3~500Pa,最高可达2000Pa,高、低真▃空可随时方便切换. 4.加速电压0.2kV to 30Kv 5.电子束电流1pA—20uA 6.样品室内部ξ直径:160mm 7.样品台行程: X=40mm——马达控制 Y=24mm——马达控制 Z=27mm——手动控制 Z'=6mm——手动控制 R=360°连续马达控制 T=-90°to90°手动 最大样品高度卐30mm.
主要特点
1.电磁式电子枪自动对中; 2.可以提供四种观察影像※模式:分辨率模式;景深模式;广角模式;鱼眼模式,很方便寻找样品位置; 3.红外线样品室∏内摄像装置,可以在测量同时观测样品; 4.真空系统Ψ 采用机械泵和一台分子泵,抽真空速度快,在更换样品后,三分钟↓内就可达到待测状态;并且不需要使用冷却水冷却. 5.采用机械-橡皮垫减震系统 6.先进的软件系统,在数据储存数据记录数据打印等方面具有多种创新功能. 7.8个外扩展接口. 8.可进行远◇程控制
VEGAII SBU是专为生物,材料领域开发的扫描电子显微镜,其真空度〖最高可达到2000Pa,可满足所有生物和材料样品的要求。独∩有的四种观察模式使得观察点的寻找更方便,图片获取更快捷,标配内的15种☆图像处理功能和13种图像测量功能使得图片更清晰,且具有针①对性。