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配置405 nm激光，可以对微小领域进行高分辨率的3维观察、计测和粗糙度测量配置新开发的双共焦系统，可以测量那些原本难以测量的样品。此外，还充实了粗糙度测量功能，灵活运用非接触式测量的优点，其输出结果有着与接触式表面粗糙度测量仪相同的操作性和互换性。
