能对应150 mm晶圆／FPD玻璃基板的手动操作型号（反射透射兼用）
对应从明视场观察到荧光观察的多种观察方法。高度的扩展性能可以对应不同的样品，性价比优异▓。
MX51 规格
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光学系统
UIS2光学系统（无限远＠ 校正）
机身 观察方法
明视场/暗视场/微分干涉/简易○偏振光/荧光
反射/透射
反射/透射
照明装置
明暗视场反射照明管（明视场/暗视场/微分干涉/简易偏振∮光）
通用反射〓照明管（明视场/暗视场/微分干涉/简易偏振光/荧光）
照明系统
反射照明
100 W卤素/100 W水银/75 W氙
透射照明
纤维光导
对焦单元
电动/手动
手动
行程
32 mm
分辨率/微调◥灵敏度 微调旋钮转动1周移动0.1 mm
最大样本高度
30 mm
物镜转换器
电动型
明视→场微分干涉6孔
明暗视场微分干涉5孔
明暗视场微分干涉中心输出5孔
明暗视场微分干涉6孔
手动式
明视场5孔
明视场微分干涉6孔
明视场微分干涉中心输出6孔
明视场微分干涉7孔
明暗视场5孔
明暗视场微分干涉5孔
明暗视场微分干涉中心输出5孔
明暗视场微分干涉6孔
载物台 行程
6×6 英√寸右下手柄：158（X）×158（Y）mm （透射照明范围100×100 mm）
4×4 英寸右下（左下）手柄：100（X）×105（Y）mm （透射照明范围96×96 mm）
观察筒 广角视场（视场数22） 倒置 双目/三目□观察筒
正像 三目◥观察筒
超宽视场（视场数26.5） 倒置 三目观察筒
正像 倾斜三目观察筒
附件单元
DUV单元/IR单元/自动装载
外形尺寸
430（W）×591（D）×495（H）mm（标准组合）
重量
26 kg（标准组合）
