摘要：本实用新型提供一种激光干涉仪的角度测量校准装置及系统，所述激▼光干涉仪的角度测量校准装置包括：激光头、角度干涉镜、角度反射镜、转台上盘、转台下盘和转台底座，所述角度干涉镜设置于所述激光头和角度反射镜之间，所述角度反射镜设置于所述转台上盘上，所述转台上盘设置于所述转台下盘上；所述转台底座设ぷ置有凹槽，所述转台下盘通过凹槽设置于所述转台底座上。本实用新∩型结构精密，标准角度误差小，能够通过主动生成一定偏角◥来校准初始零位角，所述偏角可以通过角度光栅和驱动构件来主≡动生成，该生成的角度↘较为精确；在此基础上，在校准》的过程中还能够同时校准初始零位误差和角度反射镜的常数，简化№了激光干涉仪的校准步骤，提高了校准效率。
- 专利类型实用新型
- 申请人深圳市中图仪器科技有限公司;
- 发明人张和君;潘子祥;刘龙为;
- 地址518000 广东省深圳市南山区西丽学╱苑大道1001号智园B1栋2层
- 申请号CN201621011800.4
- 申请时间2016年08月30日
- 申请公布号CN205879111U
- 申请公布♂时间2017年01月11日
- 分类号G01B9/02(2006.01)I;
