摘要：本发明公开了一种激光干涉仪的光路调校装置，包括测试光路和成像光路，测试光路中激〖光器S1发出的激光通过空间滤波器Q1，再经过偏振分光棱镜P1转折90度后通过其上方的1/4波片P3，再经过95/5分光镜P2转折90度后通过准直物镜Q2到达平面镜M4；成像光路包括平面镜M4，所平面镜M4位于测试光路中准直物镜Q2水平方向激光入射的另一侧，被反射回的激光沿水平返回，经过95/5分光镜P2转折90度后通过1/4波片P3，再经过所述偏振分光棱镜P1，然后通过反射镜M1和反射镜M2转折经过中继镜Q3，再经过反射镜M3转折到变焦镜头Q4，最终干涉激光成像在CCD相机S2上。
- 专利类型发明专利
- 申请人茂莱（南京）仪器有限公司;
- 发明人张斌;
- 地址211102 江苏省南京市江宁经济技术开发区铺岗街398号
- 申请号CN201610781966.2
- 申请时间2016年08月31日
- 申请公布号CN106323162A
- 申请公布时间2017年01月11日
- 分类号G01B9/02(2006.01)I;
