摘要：本发明提供了一种激光干涉仪用的稳频装置，包括电路控制系统、激光器、导向光路、稳频光路和激光输出光路，其中，所述导向光路将所述激光器射出的光导向到所述稳频光路，所述稳频光路包括第一分光镜、第二分光镜和光电池。本发明还提供了一种激光干涉仪用的稳频方法。本发明的有益效果是：通过稳频分光的设计，使得激光器中用于稳频的光所占比例非常少，使得稳频部分的能量损失极小，极大的增加了用于工作的激光强度，并且第一分光镜的角度和尺寸的设计可以大大减少杂散光对稳频精度的影响；稳频分光调节更为方便，结构简单易行，并且结构紧凑，易于机械封装；采用对称的光学和电子设计，可以确保稳频数据的精度和可靠性。
- 专利类型发明专利
- 申请人深圳市中图仪器股份有限公司;
- 发明人刘龙为;张和君;
- 地址518000 广东省深圳市南山区西丽学苑大道1001号智园B1栋2层
- 申请号CN201610854014.9
- 申请时间2016年09月27日
- 申请公布号CN106524897A
- 申请公布时间2017年03月22日
- 分类号G01B9/02(2006.01)I;H01S3/137(2006.01)I;
