摘要：本实用新型涉及一种用于测量物件尺寸的测量装置。测量装置包括：光源，用以产生低相干光；光纤耦合器，用于实现光信号的△分路和合路；光纤，用于传输光信号；载物装置，用于盛放被测物；检测光纤准直仪，用于将光纤的光投射到载物装置的基准面¤或位于载物装置的被测物，以及将载物装置的基准面或被测物反射的光耦合至光纤内；光路反射装置，可改变光程且将光信号原路反射；光信号检测处理▓装置，用于检测光信号是否发生干涉，并与光路反≡射装置连接，计算两次发生干涉≡时光程的改变量。本实用新型取得的有益效果：根据低㊣相干光的干涉特性调整参考光程，通过光程差得出被测物厚度，该测量装置简单且精度高。
- 专利类型实用新型
- 申请人东莞市普密斯精密仪器有限公司;
- 发明人周峰;谭晓军;杜勇刚;魏荣财;邓崇凯;陈博;
- 地址523000 广东省东莞市东城区上桥工业大道松浪街1号
- 申请号CN201620567526.2
- 申请时间2016年06月13日
- 申请公布号CN205808357U
- 申请公布时间2016年12月14日
- 分类号G01B11/06(2006.01)I;
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