摘要:本实用新型公开了一种高速数字扫描直写光刻装置,包括光源,光学照明系统,可编程图形发生器,投影光学系统,高速精密移动平台等五部分。曝光光束从光源发出,进入光学照明系统,准直成平行均匀的面光源投影至可编程图形发生器,而此时可编程图形发生器上的图形信息伴随光线进入投影光学系统,曝光光线穿过投影光学系统,最后投影成像在高速精密移动平台的基底上。本实用新型可以省去掩膜版或菲林版的加工工序,并能数十倍的提升可编辑图形发生器的Ψ刷新频率,从而提高产品的加工速率,改善了产品加工的良率。制〖作工艺简单,降低了产品的生产成本。
- 专利类型实用新型
- 申请人苏州微影光电╱科技有限公司;
- 发明人李平贵;张国龙;马迪;
- 地址215636 江苏省苏州市张家港市大新镇海坝路苏州微影光电科技有限公司
- 申请号CN201420232691.3
- 申请时间2014年05月08日
- 申请公☆布号CN203825365U
- 申请公布时间2014年09月10日
- 分类号G03F7/20(2006.01)I;