摘要：本发明公开了一种直写式曝光系统中的扫描台，包括水平设置的矩形台面板，所述台面板上方设置有两根相互平行且平行于台面板的压板横梁，两压板横梁均横跨台面板，所述台面板的侧面设置有与压板横梁的各个端部相对应的安装座，该安装座与台面板相对固定，各个安装座上分别设置有一个升降驱动装置，所述压板横梁的两端分别与对应安装座上的升降驱动装置相连接，同一压板横梁两端的升降驱动装置同步驱动该压板横梁上下移动。在传统的扫描台台面板上增加了两根压板横梁，利用两根压板横梁或安装在压板横梁上的压板将软性曝光板有翘曲现象的边压住，这样在曝光软性曝光板的时候，就可以避免因软性曝光板的边翘曲引起的曝光质量不好的问题了。
- 专利类型发明专利
- 申请人苏州微影光电科技有限公司;
- 发明人王友车;张国龙;吴斌;
- 地址215636 江苏省苏州市张家港市大新镇海坝路苏州微影光电科技有限公司
- 申请号CN201510383235.8
- 申请时间2015年07月03日
- 申请公布号CN104977815A
- 申请公布时间2015年10月14日
- 分类号G03F7/20(2006.01)I;
