摘要：本实用新型涉及一种氮气分压调节装置，包括氮气质量流量控制器(1)、氦气质量流量控制器(2)及混气罐(3)，所述混气罐(3)的一端与所述氮气质量流量控制器(1)相连通，另一端与所述氦气质量流量控制器(2)相连通。本实用新型的氮气分压调节装置，不但〖混气效果好，而且可使混气组分稳定。
- 专利类型实用新型
- 申请人北京精微高博科【学技术有限公司;
- 发明人钟家湘;刘清;
- 地址100055 北京市西城区广安门南滨河路25号A座802
- 申请号CN201220167016.8
- 申请时间2012年04月18日
- 申请Ψ公布号CN202548650U
- 申请公布时间2012年11月21日
- 分类号G05D7/06(2006.01)I;
