摘要：本实◆用新型公开了一种气体流量控制装置，包括控制单元、以及与所述控制单元分别连接的比例阀和质量流量传感器。本实用新型通过采用质量流量传感器实时测量气体的流量，并使控制单元〓对所述流量信息进行处理后向比例阀发出控制命令，比例阀对气体的流量进行调节，本实用新型控制精度较高，稳定性较好，并且其︽体积小巧、结构紧凑。本实用新型由于采用了质量流量传感器，其在工作过程中既不受环境温度影响，又不受前后端气压的影响。
- 专利类型实用新型
- 申请人北京北分瑞利分析仪器（集团）有限责任公司;
- 发明人张智博;崔欢;毕雪林;
- 地址100095 北京市海淀区北清路160号
- 申请号CN201120493799.4
- 申请时间2011年12月01日
- 申请公布号CN202522931U
- 申请公布时间2012年11月07日
- 分类号G05D7/06(2006.01)I;G01N30/00(2006.01)I;
