摘要：本实用新型涉及一种干法硅片自动分离机构包括支架、支杆、风刀体、喷嘴体、密封圈、螺母、喷头、喷头环；所述喷嘴体、支杆分别旋入风刀体上，密封圈装入◇喷嘴体凹孔内，所述风刀体上设置有两个喷头，喷头环装在喷头上，通过螺母固定喷头，且安装在支架上，用两个螺纹孔固定。所述风刀体上设置有两个喷头，喷头底部为⊙球形，可以自由调节所需的喷射角度。所述风刀∞体上设有孔。所述支架上设置有两个螺纹孔。所述喷头上的压缩空气喷出口为一字型槽口。本实用新型】结构简单、紧凑，合理；通过喷头、喷头环来控制压缩空气的喷射方向、形状、范围从而使硅片很好的分离，并且稳定的悬浮在空中。
- 专利类型实用新型
- 申请人无锡∑ 市南亚科技有限公司;
- 发明人顾韻;凌峰;凌兆贵;
- 地址214024 江苏省无锡市南长区扬名高新技术产业园B区107号
- 申请号CN201120379086.5
- 申请时间2011年09月30日
- 申□请公布号CN202231049U
- 申请公布时间2012年05月23日
- 分类号H01L31/18(2006.01)I;
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