摘要：本实用新型涉及一种区熔再结晶设备，它包括一带有滑道的实验台，实验台上设置有可滑动支架，支架的顶部固定连接一工作台，支架的底座穿设有一端带有螺纹一转轴，转轴的另一端上设置有ζ一计数器，转轴连接到一马达的输出端；计数器并联连接马达和一控制模块，马达连接控制ω 模块，控制模块内置有电源；工作台的另一』端顶面上设置有一衬底，与工作台对应设置有一石英腔室，石英腔室的一端设置有进口，石英腔室外︾部由顶部带有凹槽并固定在实验台上的罩体进行密封，凹槽内设置有◥一聚光装置，聚光装置通过摄像头连接监视器，罩体的⊙底部设置有衬底加热装置和冷却装置，聚光装置内设置有薄膜加热装置，衬底加热装置和加热装置连接控制模块。本实用新型可广泛应用于各种太阳能电池制备中。
- 专利类型实用新型
- 申请人北京市太阳能研究所有限公司;
- 发明人许颖;宋爽;励旭东;勾宪芳;冯维希;
- 地址100191 北京市海淀区花园路3号
- 申请号CN200920222524.X
- 申请时间2009年09月15日
- 申请公○布号CN201532964U
- 申请公布时间2010年07月21日
- 分类号H01L31/18(2006.01)I;
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