摘要：本发明涉及一种用于测量物件尺寸的测量装置和测量方法。测量装置包括：光源，用以产生低相干光；光纤耦合器，用于实现光信号的分路和合路；光纤，用于传输光信号；载物装置，用于盛放被测物；检测光纤准直仪，用于将光纤的光投射到载物装置的基准面或位于载物装置的被测物，以及将载物装置的基准面或被测物反射的光耦合至光纤内；光路反射装置，可改变光程且将光信号原路反射；光信号检测处理装置，用于检测光信号是否发生干涉，并与光路反射装置连接，计算两次发生干涉时光程的改变量。本发明取得的有益效果：根据低相干光的干涉特性调整参考光程，通过光程差得出被测物厚度，该测量装置、方法简单且精度高。
- 专利类型发明专利
- 申请人东莞市普密斯精密仪器有限公司;
- 发明人周峰;谭晓军;杜勇刚;魏荣财;邓崇凯;陈博;
- 地址523000 广东省〖东莞市东城区上桥工业大道松浪街1号
- 申请号CN201610418776.4
- 申请时间2016年06月13日
- 申请公布号CN105910541A
- 申请公布时间2016年08月31日
- 分类号G01B11/06(2006.01)I;
