摘要：本发明“光伏器件表面纳米化干法制绒制备方法”属于光伏太阳能电池片制绒技术领域，适用于所有以硅材料为主的太阳能电池片，包括单晶硅、多晶硅、准单∞晶和非晶硅。通过使用反应离子干法腐蚀仪对太阳能电池片表面进行刻蚀工艺，使表面产生纳米化绒面，重新分布表面电子发射微米和纳米结构，从而捕获更多的太阳光能，有效提高金属电极与硅表面接触减小阻耗，优化钝化层机构进一步减少电子空穴的重新结合带来的损耗，使得电池片的反射光损失从300纳米至1000纳米波长的范围内都在5％以下，同时起到了表面钝化作用，减少了电子空穴重新结合的机会，使得最终光电转化效率得以提高。同时无需像传统光伏电池那样在上表面再添加一层防反射材料。
- 专利类型发明专利
- 申请人张家港费曼光电科技有限公司;刘钢;
- 发明人刘钢;
- 地址215600 江苏省张家港国泰北路1号留学生创业园A栋137-138室
- 申请号CN201210057146.0
- 申请时间2012年03月05日
- 申请公布号CN103296134A
- 申请公布时间2013年09月11日
- 分类号H01L31/18(2006.01)I;
