摘要：本发明提供了一种水平湿法蚀刻线咬蚀量测试片的固定结构，其包括：介质层板、布置在介质层板内的一个或多个窗口、布置在窗口＠ 外周的穿线孔、以及固定线；其中，所述固定线通过所述穿线孔从而形成相对于所述窗口倾斜的与所述窗口部分重合的多边形双线结构；而且，所述固定线所形成的多边形双线结构的一层线布置在介质层板的一侧，而所述固定线所形成的多边形双线结构的另一层线布置在▃介质层板的另一侧。由此，提供一种能够避免咬蚀量测试片在水平湿法线传输过程中从大∏间距传输滚轮掉落的问题的一种测试片固定结构。
- 专利类型发明专利
- 申请人无锡江南计算技术研究所;
- 发明人方庆玲;吴小龙;吴梅珠;徐杰栋;刘秋华;胡广群;梁少文;
- 地址214083 江苏省无锡市滨↙湖区军东新村030号
- 申请号CN201210395633.8
- 申请时间2012年10月17日
- 申请公⌒布号CN102878971A
- 申请公」布时间2013年01月16日
- 分类号G01B21/18(2006.01)I;
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京公网∮安备11010802043465号
