摘要：本发明公开了一种全自动光学测厚仪，其结构如下：模拟信号采集装置的信号输出端与模拟信号预处理电路的信号输入端连接，模拟信号预处理电路的信号输出端与A/D转换电路的信号输入端连接，A/D转换电路的信号输出端与中央处理器的折射/透射率数据信号输入端连接，中央处理器的视频信号输出端与显示器的信号输入端连接。本发明还公开了一种全自动光学测厚仪的折射/透射率数据处理方法，包括以下步骤：输入包含一位小数位的折射/透射率数据；中值滤波；提取有效折射/透射率的小数位；小数位处理；判断是否出现极值；显示折射/透射率值、折射/透射率趋势线和极值数量；循环执行。通过本发明测量厚度，测量准确、数据精确，结果稳定、可靠。
- 专利类型发明专利
- 申请人成都中科唯实仪器有限责任公司;
- 发明人许镜明;张鹏;张蜀晓;严家荣;陈启禄;唐成;
- 地址610000 四川省成都市高新区科园南一路七号
- 申请号CN201110401682.3
- 申请时间2011年12月06日
- 申请公布号CN102494620B
- 申请公布时间2013年08月07日
- 分类号G01B11/06(2006.01)I;
