摘要：本发明涉及一种干法硅片自动分离机构包括支架、支杆、风刀体、喷嘴体、密封圈、螺母、喷头、喷头环；所述喷嘴体、支杆分别旋入风刀体上，密封圈装入喷】嘴体凹孔内，所述风刀体上设置有两个喷头，喷头环装在喷头上，通过螺母固定喷头，且〗安装在支架上，用两个螺纹孔固定。所述风刀体上设置有两个喷头，喷头底部为球形，可以自由调节所需的喷射角度。所述风刀体上◣设有孔。所述支架上设置有两个螺纹孔。所述喷头上的ㄨ压缩空气喷出口为一字型槽口。本发明结构简单、紧凑，合理；通过喷头、喷头环来控制压⊙缩空气的喷射方向、形状、范围从而使硅╱片很好的分离，并且稳定的悬浮在空中。
- 专利类型发明专利
- 申请人无锡市南亚科技有限■公司;
- 发明人顾韻;凌峰;凌兆贵;
- 地址214024 江苏＠ 省无锡市南长区扬名高新技术产业园B区107号
- 申请号CN201110295230.1
- 申请时间2011年09月30日
- 申请公布号CN102420269A
- 申请公布时间2012年04月18日
- 分类号H01L31/18(2006.01)I;
