一、纳米颗粒膜制备
日前，由英⊙国著名的薄膜沉积设备制造商Moorfield Nanotechnology公司生ω 产的套纳米颗粒与磁控溅射综合系统在奥地利的莱奥本矿∏业大学Christian Mitterer教授课题组安装并交付使用。该设备由MiniLab125型磁控溅射系统与纳米颗粒溅射源共同组成，可以同时满足用户对普通薄膜和纳米颗粒膜制备的需求。
集成了纳米颗粒源的MiniLab125磁控溅射系统
传统〖薄膜材料的研究专注于制备表面平整、质地致密、晶格缺陷少的薄膜，很多时候更是需要制备沿衬底外延生长的薄膜。然≡而随着研究的深入，不同的应用方向对薄膜的︾需求是截然不同。在表面催化、过滤等研究ω 方向，需要超大比表〓面积的纳米薄膜。在这种情况下，纳米颗粒膜具有不可比拟的优势。而传统的磁控溅射在制备纯颗粒膜方面对于粒卐径尺寸，颗粒均匀性方面无法实现控制。气相沉积法、电▲弧放电法、水热合成法等在々适用性、操作便捷○性、与传统样品处理的兼容性等方面不友好。在此情况下，Moorfield Nanotechnology推出了与传统磁控溅射和真空设备兼容的纳米颗粒制备系统。
不同条件制备的颗粒粒径分布↑（厂家测试数据」）
不同颗粒密度样品△（厂家测试数据）
纳米颗粒制备技々术特点：
? 纳米颗粒的大小1 nm-20 nm可调；
? 多可达3重金属，可共沉积，可制备纯/合金颗粒；
? 材料范围广泛，包括Au、Ag、Cu、Pt、Ir、Ni、Ti、Zr等
? 拥◤有通过控制气氛制造复合纳米粒子的可能性（类似于反应溅射）
? 的纳米颗粒层厚度控制，从亚单层ξ 到三维纳米孔
? 纳米颗粒结构←——结晶或非晶、形状可控
纳米颗粒膜的应用方▆向：
? 生命科学和纳☆米医学： 癌症治疗、药物传输、抗菌、抗病毒、生物膜
? 石墨烯研究方向：电子器件、能源、复合材料、传感器
? 光电研究：光伏研究、光子俘获、表面增强拉曼
? 催化：燃料电池、光催化、电化学、水/空气净化
? 传感器：生物传感器、光学传【感器、电学「传感器、电化学传△感器
二、无机无铅光伏材料
下一代太阳能电池的大部分研究→都与铅-卤化物钙钛矿混合ㄨ材料有关。然而，人们正不断努力寻找具有类似或更好特性的替代化合物，想要消除铅对环境的影响，而迄今为止，这种化合物一直难以获得。因此寻找具有适当带隙范围的无铅材料是很□ 重要的，如果将它们结合起来⌒，就可以利用太阳光谱的不同波长进行发电。这将是提高未来太阳能电池效率降低成本的关键。
近期，牛津大学的光电与光伏器件研究组的Henry Snaith教授与Benjamin Putland博士√研究了具有A2BB’X6双钙钛矿◆结构的新型无机无铅光伏材料。经过计算该材料具√有2 eV的带隙，可用做光伏电池的顶』层吸光材料与传统Si基光伏材料很好的结合，使光电◎转换效率达到30%。与有机钙钛矿材料相比，无机钙钛矿材料具有结构稳定使用寿命更长♂的优势。而这种新材料的制◢备存在一个问题，由于前驱◥体组分的不溶性和复杂的结晶过程容易导致非目标性的晶体生长，因此难以通过传统的水溶液法制¤备均匀的★薄膜。Benjamin Putland博士采用真空蒸发使这些问题得以解决。使用Moorfield Nanotechnology的高质量金属\有机物热蒸发系统，通过真空蒸发三种不同的前■驱体，研究人员成功沉积制备出了』所需要的薄膜。真空蒸发具有较高的控制水卐平和可扩展性，使得材料的工业∞化制备成为可能。
所制备的薄膜在150℃退火后，XRD图。
所制备的薄膜在150℃退火后，表面SEM图
三、Moorfield 薄膜制备与加◥工系统简介
Moorfield Nanotechnology是英国材☉料科学领域高性能仪器研发公司，成立二十多年来专注于高质量的薄膜生长与加工技术，拥有雄厚的技术实力，推出的多种高性能设备受到科研与工业领域的♂广泛好评。高精度薄膜制▼备与加工系统 – MiniLab旗舰系列Ψ和nanoPVD台式系列◥是英国Moorfield Nanotechnology公司经过多年技术≡积累与改进的结晶。产品的定位是配置灵活、模块化设计的PVD系统，可用于高质量的科学研究和中试生产。
设备的功能和㊣ 特点：
? 蒸发设备：热蒸发（金属）、低温热蒸发(有机物)、电子束⊙蒸发
? 磁控溅射：直流&射频溅射、共溅射、反应溅射
? 兼容性：可与手套箱集▆成、满足←特殊样品制备
? 其他功能设【备：二维材料软刻☉蚀、样品热处理
? 设备的控制：触屏编程式全自动控制
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