日本ADVANCE RIKO公司总结多种薄膜沉积技术，发布电弧等离子体沉积(APD)系统。其◣工作原理主要分为三步：首先在触发电极上加载高电压后，电容中的电荷充到阴极(靶材)上;其次真空中的阳极和阴极(靶材)间，电子形成了蠕缓放电，并产生放电回路，靶材⊙被加热并形成等离子体;最后通过磁场控制等离子体照射到基底上，形成薄膜或纳米◆颗粒。
APD工作原理
电弧等离子体沉积系统利用5个高能电容器，通过改变电容器使ω 用数量，使充电电压发生改变，从而控制脉冲能量，最¤终达到精确控制薄膜厚度的目的。同时可以在1.5nm到6nm范围内精确控制纳米※颗粒直径，活性好，产量高。
APD制备的Fe-Co纳米颗粒的SEM和EDS图谱
电弧等离子↑体沉积系统最多搭载3个沉积源，可以同时/交替使用多种靶材，使得制备新】化合物成为可能。金属/半导体制备同时，控制腔体气氛，可以产生氧化物和氮化物薄膜。另外，高能量等离子体可以▲使碳靶材离子化，在碳单质体如非晶碳，纳米钻石，碳纳米管沉积与制备方々面有广泛的」应用。
产品特点
1. 可以通过调节放电电容量，控制纳米颗粒直径在1.5nm到6nm范围内。
2. APD系统适用于多种导电靶材，电阻率小于0.01Ω.cm的靶材系统都可以将其等离子∑ 体化。
3. 改变系统的气ξ 氛氛围，可以制备氧化物或氮化物。石墨在氢气中放电能产生超纳米█微晶钻石。
4. 用该系统制备的纳米颗粒用于催化，催化活性高于湿法制备。
5. Model APD-P支持将纳米颗粒做成粉末。Model APD-S适合在2英寸基片上制备均匀薄膜。
