LBIC 光束诱导电流成像系统采用振镜扫描技术，对样品表面做快速扫描。产生的光电流信号通过探针引到源表，再显示在软件界面，用三维图显示样品表面在同一个光强下电流分布，以此推算样品的光电转换均匀性和材料的缺陷分布。
光束诱导电流成像系统是用于检测材料光电流强度分布的专用设备，主要用来测量光电材料的光电响应信号和表征材料 的光电特征。光束诱导电流成像系统将光电材料对于光信号响▽应的不均匀性以可视化和量化的◢方式显示出来。该系统可以研 究光电探测器的量子效率，器件的电阻分布特征，研究太阳能电池光生电々流的不均匀性，研究器件吸收和电荷生成的微区特性， 以及光电材料∞界面，半导体结区的品质分布等。
整个系统的结构包含光源（激光器或者连续光源），显微镜，扫描振镜，数字源表，探针台和计算机软件等。激光☉通过扫 描透镜，扫描振镜，成像透镜，经过显微镜聚焦到样品表面，激光激发样品产生光电流，光电流信号通过探针引出至源表， 再通过电脑在软件中读出，扫描时振镜是通过电压控制器控制光束的偏转角度，激光的光斑在样品的 XY 方向上扫描移动， 软件记录每一个激光聚焦光斑的位置和其对应的电流值，在软件上同步描绘出光电流成像图，显示样品的电流分布。
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功能简介
产品特点
● 多路激↙光波长可选
● 样品位置二维可调，实现快速换样
● 整体探针位置二维可以移动，方便测试样品的∩不同位置
● 样品在静止情况下实现mapping扫描，消除电移 台的震动的影响
● 可视化和人性化软件（测试区间位置通过框图的 方式选取，实现了可视范围即扫描范围）
应用领域
● 纳米材料
● 二维材料
● 晶圆分析
● 探测器光电性能检测
● 面阵探测器pixel检测
● 器件电荷生成的微区特性
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基本参数
| 激光器（光源） | ●标配532nm激光器，稳定性1%@4小时 ●可选配2路激光器用于光电流测㊣ 试 |
| 显微镜模块 | ●LED照明 ●物镜：标配（20X，WD=7.5） 超长工作距离 ●扫描范围：300 x 200μm （20x物镜下） ●分辨率：小于150nm ●重复性：小于1μm |
| 数据采集 | ●电流源表：Keithley 2450 ●测量范围：1nA – 1A ●暗噪声：50pA ●分辨率：20fA ●准确度：0.04% |
| 探针台模块 | ●直径65mm真空∞吸附卡盘 ●探针座和样品整体二维↓移动，方便样品位置与光斑位置重合 ●样品位置单独二维移动，实现快速更换样品 ●探针座：XYZ行程12mm，分辨率0.7μm ●探针：钨针，直径5μm，10μm，20μm可选 |
| 软件 | ●光电流mapping：可以设定固定的电压，逐点获取电流值 ●I-V曲线mapping：可以设定指定的电压区间，逐点获取I-V曲线 ●框图指定①区域mapping扫描 |
产品图示
探针台模块
软件测试样品图示
软件测试样品图示
产品视频
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