导读：传感器是一种检测装置，能感受到被测量的信息，并能将感受到的信息，按一定规律变换成为电信号或其他所需形式的信息输出，以满足信△息的传输、处理、存储、显示、记录和控制等要求。它在自动化生产领域扮演了极其重要角色，下面笔者总结了其在未来的五大发展。

　　1、开发新型传感器

　　新型传感器，大致应包括：①采用新原理;②填补传感器空白;③仿生传感器等诸方面。它们之间是互相联系的。传感∑器的工作机理是基于各种效应和定律，由此启发人们进一步探索具有新效应的敏感功能材料，并以此研制出具有新原理的新型物性型传感器件，这是发展高性能、多功能、低成本和小型化传感器的重要途径。结◆构型传感器发展得较早，目前日趋成熟▲。结构型传感器，一般说它的结构复杂，体积偏大，价格偏高。物性型传感器大致与之相反，具有不少诱人的优点，加之过去发展也不够。世界各国都在物性型传感器方面投入大量人力、物力加强研究，从而使它成为一个值得注∴意的发展动向。其中利用量子力学诸效应研制的低灵敏阈传感器，用来检测微弱的↓信号，是发展新动向之一。

　　2、集成化、多功能化、智能化

　　传感器集成化包括两种定义，一是同一功能的多元件并列化，即将同一类型的单个传感元件用集成工艺在同一平面上排列起来，排成1维的为线性传感器，CCD图象传感器就属于这种情况。集成化的另一々个定义是多功能一体化，即将传感器与放大、运算以及温度补偿等环卐节一体化，组装成一个器件。

　　随着集成化技术的发展，各类混合集成和单片集成式压力传感器相继出现，有的已经成为商品。集成化压力传感器有压阻式、电容式、等类型，其中压阻式集成化传感器发展快、应用广。

　　传感器的多※功能化也是其发展方向之一。所谓多功能化的典型实例，美国某大学☉传感器研究发展中心研制的单片硅多维力传感器可以同时测量3个线速度、3个离心加速度(角速度)和3个角加速度。主要元件是由4个正确设计安装在一个基板上的悬臂梁组成的单片硅结构，9个正确布置在各个悬臂梁上的压阻敏感元件。多功能化不仅可以降低生产成本，减小体积，而且可以有效的提高传感器的稳◥定性、可靠性⊙等性能指标。

　　把多个功能不同的传感元件集成在一起，除可同时进行多种参数的测量外，还可对这些参数的测量结果进行综合处理和评价，可反映出被测系统的整体状态。由上还可以看出，集成化对固态传感器带来了许多新的机会，同时它也是多功能化的基〖础。

　　传感器与微处理机相结合，使之不仅具有检测功能，还具有信息处理⌒、逻辑判断、自诊断、以及“思维”等人工智能，就称之为传感器的智能化。借助于半导体集成化技术把传感器部分与信号预处理电路、输入输出接口、微处理器等制作在同一块芯片上，即成为大规模集成智能传感器。可以说智能传感器是∩传感器技术与大规模集成电路技术相】结合的产物，它的实现将取决于传感技术与半导体集成化工艺水平的提高与发展。这类传感器具有多能、高性能、体积小、适宜大批量生产和使用方便等优点，可以肯定地说，是传感器重要的方向之一。

　　3、新材料开发

　　传感器材料是传感器技术的重要基础， 是传感器技术升○级的重要支撑。随着材料科学的进步，传感器技术★日臻成熟，其种类越来越多，除了早期使用的半导体材料、陶瓷材料以外，光导纤维以及超导材料的开发，为传感器的发展提供了物质基础。例如，根据以︾硅为基体的许多半导体材料易于微型化、集成化、多功能化、智能化，以及半导ζ体光热探测器具有灵敏度高、精度高、非接触性等特点，发展〗红外传感器、激光传感器、光纤传感器等现代传感器;在敏感材料中，陶瓷材料、有机材料发展很快，可采用不同的配方混合原料，在精密调配化学成分的基础上，经过高精度成型烧结，得到对◤某一种或某几种气体具有识别功能的敏感材料，用于制成新型气体传感器。此外，高分ζ　子有机敏感材料，是近几年人们极为关注的具有应用潜力的新型敏感材料，可制成热敏、光敏、气敏、湿敏、力敏、离子敏和生物敏等传感器。传感器技术的不断▆发展，也促进了更新型材料的开发，如纳米材料等。美国NRC公司已开发出纳Ψ米ZrO2 气体传感器，控制机动车辆尾气的排放，对净化环境效果很好，应用前景比较广阔。由于采用纳米材料制作的传感器，具有庞大的界面，能提供大量的气体通道，而且导通电阻很小，有利于传感器ㄨ向微型化发展，随着科学技术的不断进步将有更多的新型材料诞生。

　　4、新工艺的【采用

　　在发展新型传感器中，离不开新工艺的采用。新工艺的含义范围很广，这里主要指与发展新兴传感器联系特别密切的微细加工技术。该技术又称№微机械加工技术，是近年来随着集成电路工艺发展起来的，它是离「子束、电子束、分子束、激光束和化学刻蚀♂等用于微电子加工的技术，目前已越来越多地用于传感器领域，例如溅射、蒸镀、等离子体刻蚀、化学气体淀积(CVD)、外延、扩散、腐蚀、光刻等，迄今已有大量采用上述工艺制成的传感器的国内外报道。

　　5、智能材料

　　智能材料是指设计和控制材料的物理、化学、机械、电㊣　学等参数，研制出生物体材料所具有的特性或者优于→生物体材料性能的人造材料。有人认为，具有下述功能的材料可称之为智能材料：具备对▆环境的判断可自适应功能;具备自诊断功能;具备自修复功能;具备自增强功能(或称时基功能)。

　　生物体材料的最突出特点是具有时基功能，因此这种传感器特性是微¤分型的，它对变分部分比较敏感。反之，长期处于某一环境并习惯了此环境，则ω灵敏度下降。一般说来，它能＠适应环境调节其灵敏度。除了生物体材料外，最引人注目的智能材料是形状记忆合金、形状记忆陶瓷和形状记忆聚合物。智能材料的探索工作刚刚开始，相信不久的将来会有很大的发展。

　　总结：

　　传感器作为人类向外界获取信息的重要手段∞之一，在各行各业都发挥着无法々取代的作用，未来人类的传感器发展将继续朝着更加微型化、数字化、智能化、多功能化、系统化、网络化的方向不断■迈进，同时也为人们的智能生活提供更为便利的服务。