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等离子清洗机VP-R3真空腔体石英玻璃材质，腔体容积3升，两路进气通道，进气量可调，流量实时监¤测，数显真空检测，实时观察√自动泄压动态，中英文操作系统，触摸屏控制，频率13.56MHz，能对材◥料起到清洁、刻蚀、活化、改性的作用，满功率运行30分钟，腔体温度不高于32℃，不损伤样品，适用于微流】控芯片PDMS键合、ITO导电玻璃、石墨烯、纤维、单晶硅片、PET、二氧化硅等几乎所有材料的PLASMA处理。
