一分pk10
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产品特点：
可集成MBRAUN手套箱(由过渡舱实现连接)
可处理50 x 50 mm大小的晶圆基板
紧凑型设计
低成本、经济型方案
交货快
安装简单、方便
易于工艺改造和提升
应用行业：
OLEDs/有机光电子
光伏太阳能
