探针台主要应用于传感器，半导体，光电，集成电路以及封装的测试。广泛应用于复杂、高速器件的精密电气测量的研发，旨在确保质量及可ζ靠性，并缩减研发时间和器件制造工艺的成本。
探针移动平台
X轴移动行程
30mm ±15mm
X轴控制精度
≤0.01mm
Y轴移动行程
13mm ±12.5mm
Y轴控制精度
≤0.01mm
Z轴移动行程
13mm ±12.5mm
Z轴控制精度
≤0.01mm
电子显微镜
该探针台的承载台为60x60不锈钢台面，台面可升温到400℃。真空腔体设计有进气口和抽真空接口。探针臂为X/Y/Z三轴移动，三个方向均可在真空环境下精密移位调节，其中X方向调节范围：0－30mm；y方向调节范围：0－20mm；z方向调节范围：0－20mm；用户可根据需要自行调节。使用时将需检测的器件固定在加热台上，再微调探针支架X/Y/Z 方向行程，通过显微镜观察，使探针对※准检测点后，即可进行检测
