KT-Z165M4RT精巧型真空腔体测试腔主要用于气体敏感材料或其他对环境敏〗感性材料中的电信号测试。测试腔体内部装有不锈钢加热承载台，台面为φ30，台面可升温到400℃。台面四周装有微型3轴可移动钨钢探针，特别适合微小未封装的叉指电极等传感器测试。该腔体设计有进气口和抽真空接口其真空度用机械泵可达＜5Pa分子泵〓可达＜-3Pa。真空信号连接处使用军工级别真空电极信号接头，保证气密性及抗干扰性能。使用时将需将待检测的器件方在加热台面，探针处由3轴可移动探针手动调节移动至被测试器件的引脚处，外部信号线连接测试仪器来测试电学信号。
探针 | |
电信号接头 | 配线转接BNC接头BNC三同轴接头SMA 接头香蕉◣插头线长1.2米 |
电学性能 | 绝缘电阻≥4000MΩ介质耐压≤200V 电流噪声≤10pA |
探针数量 | 4探针（可扩展5探针） |
探针材质 | 镀金钨针（其他材质可选） |
探针尖 | 10μm |
手动探针移动平台 | |
X轴移动行程∞ | 20mm ±10mm（需手动ζ推动滑台） |
X轴控制精度』 | ≥500μm |
R轴移动行程 | 120° ±60°（需手动旋转探≡针杆） |
R轴控制精度 | ≥500μm |
Z轴移动行程 | 2mm ±1mm |
Z轴控制精度 | ≤50μm（需手动螺纹调节探针杆） |
具体技术参数请来电详询
