四探针法晶圆电阻率测量仪
全自动晶圆成像电阻率测试仪
产品名称：全自动晶圆成像电阻率测试仪
产品型号：GEST-201
一、产品概述
本仪器主要通过四探针法＠测试单晶硅电阻率，具有自动定位的三坐标自动测量系统，可以自由设△置测量点数量，自动测试完成，可以对测试出的数据进行2D成像，是智能化、集成化很高的晶圆电阻率测试仪器。
仪器采用了zui新电子技术进行设计、装配。具有功能选择直观、测量取数快、精度高、测量范围宽、稳定性好、结构紧凑、易操作等特点。
本仪器适用于半导体材料厂、半导体ξ 器件厂、科研单位、高等院校对半导体材料的电阻性能测试
四探针测试电极：
1、间距：1±0.01mm；
2、针间绝缘电阻：≥1000MΩ；
3、机械游移ξ 率：≤0.3％；
4、探针：碳化钨或高速钢Ф0.5mm；
5、 探针压力：5～16 牛顿(总力)；
上位机软件测量成像系统
1、测量方式：弧度测量、角度测量
2、测量点数：可以设定
3、测试数据：实时同步显示
4、2D成像：测试完成后，可以立体成像
5、数据导出：可以保存测试数据生成电子版本
6、测试软件界面如下：
三、主要配置
1、高精度电阻测量仪：1台
2、三坐标◥测量品台：1台
3、测量电极：2组
4、软件测量系ω统：1套
5、笔记本：1台
四探针法晶圆电阻率测量仪
二、仪器构成：
本仪器主要组成部分有：
1、高精度电阻率测试仪
2、三∮坐标测试移动平台
3、测试探头
4、上位机软件测量成像系统
高精度电阻率∴测量仪：
1、测量范围
1.1电阻率：0.00001～20000Ω.cm (可扩展)
1.2电导率：0.00005～10000 s/cm；
1.3电阻：0.00001～20000Ω.cm；
2、电压测量：
2.1量程0.01mV-2000 mV
2.2分辨力：10μV；
2.3 精度：±0.1% ；
2.4显示：触摸屏操作显示
3、恒流源：
3.1电流输出：10μA, 100μA, 1mA, 10mA, 100mA, 1A,
3.2电流误差：±0.5%
3.3各︼档连续可调
三坐标测试移动品台：
1、X轴Y轴移动行程：120MM
2、X轴Y轴zui小位移量：0.125MM
3、R轴zui小分度值：0.0125°C
四探针法晶圆电阻率测量仪
产品概述：
粉末电阻率试▓验仪主要用于测量粉末材料电阻率试验的专用仪器.
由于粉末材料的密实度不同,在松装和振实密度条件下,所测试得到的数据是不同的,所以测试粉末电
阻,要求在规定的压力条件下进行测试》.便于进行有效数据的测试及对比.
仪器由主机、测试架两大部分组成》。主机包括高灵◆敏的直流数字电压表和高稳定的直流恒流源测量
试验设置通过触摸屏进行操作和设置，页面布局合理，人※性化设计，可对测试结果进行打印。
仪器具有测量精度高、稳定性好、结构紧凑、使用方※便等特点，完全符合国际和guo家标准的▃要求。
仪器适用于导体粉末、半导体粉末、炭素材料等行业，进行检测必备测试设▅备。
仪器主要技术指标：
一、测量范围：
测量半导电电阻率时： 电阻率10-6—105Ω-cm；分辩率10-8Ω-cm
测量其他（电线电缆）电阻时： 电阻10-4--2X105Ω，分辨率0.01uΩ
四探针法晶圆电阻率测量仪
