铜线电阻检测仪
四探针电△阻率测试仪
产品名称:四探◆针电阻率测试仪
产品型号:GEST-126
产品概述
该仪器按照单晶硅物理测试方法guo家标准,并参考美」国 ASTM 标准而设计的,专用于测试半导体材料电阻率及方块电阻(薄层电阻)的专用仪器。
仪器由主机、测试台、四探针探头、计算机等部分组成,测量数据既可由主机直接显示,亦可由计算机控制测试采集测试数据到计算机中加以分析,然后以↘表格,图形方式统计分析显示测试结果。
仪器采□ 用了zui新电子技术进行设计、装配。具有功能选择直观、测量取数快、精度高、测量范围宽、稳定性好、结构紧凑、易操作等特点。
本仪器适用于半导体材料厂、半导体器件厂、科研单位、高等院校对半◣导体材料的电阻性能测试
仪器主要技术指标:
三、恒流源:
1.电流输出:10μA, 100μA, 1mA, 10mA, 100mA, 1A,
2. 电流误差:±0.5%
3. 各档连续可调
四、四探针测试√电极:
1.间距:1±0.01mm;2.针间绝缘电阻:≥1000MΩ; 3.机械游移率:≤0.3%;4.探针:碳化钨或高速钢Ф0.5mm;5.探针压力:5~16 牛顿(总力);
五、数据打印:
可对测试结果进行打印,显示结果为:电压、电流、电阻、电阻率
六、试验模式:
手动实验:选择恒流源,在设定的恒流源下测试※
自动试验:自动扫描合适的量程范围测试
微机测试:连接电脑通过软件进∴行测试
铜线电阻检测仪
一、 测量范围:
电阻率:0.00001~20000Ω.cm(可扩展)
方块电阻:0.0001~200000Ω/(可扩展)
电导率:0.00005~10000 s/cm;
电阻:0.00001~20000Ω.cm;
二、电压测量:
1. 量程0.01mV-2000mV
2. 分辨力:10μV;
3. 输入阻抗>1000MΩ;
4. 精度:±0.1% ;
5. 显示:触摸屏操作显示
铜线电阻检测仪
四探针软件测试系统是一个运行在计算机上拥有友好测试界面的用户程序,通过此测试程序辅助使用户简便地进行各项测试及获得测试数据并对测试数据进行统计分析。
测试程序控制四探针测试仪进行测量╱并采集测试数据,把采集到的数据在计算机■中加以分析,然后把测试数据卐以表格,图形直观地卐记录、显示出来。用户可对采集到的数据在电脑中保存或者打印∞以备日后参考和查看,还可以把采集到的数据输出到Excel中,让用户对数据进行各种数据分析
单电四探针方阻测试仪FT-331更适合于普通需求,这个精度方面还是足够用的,还有量程也是①足够大
双电四探针法电阻率测试仪FT-341更适合∑ 于研究性,他精度↙高量程也大,特别注意的是在探头选择▂方面需要能适合自己的样品,这个很重要.
手持式四探针◥测试仪FT-391是比较适合外出或需要便捷携带使用,
四探针电阻率/方阻测试仪(以下简称电阻率测试仪)是用来测量半导体材料(主要是硅∏单晶、锗单晶、硅片)电阻率,以及扩▲散层、外延层、ITO导电箔膜、导电橡胶方块电阻▲的测量仪器。它主要由电气测量部份(简称:主机)、测试架▼及四探针头组成。
本仪器的特点是主机配置双数字Ψ表,在测量电阻率的同时,另一块数々字表(以万分之几的精度)适时监测全程的电流变化,免除了测量电流/测量电阻率的转换,更及时掌控测量电流◎。主机还提供精度〖为0.05%的恒流源,使测量电流高度稳〖定。本机配有恒流↘源开关,在测量某◥些箔层材料时,可免除探针尖与被测ξ 材料之间接触火花的发生←,更好地保护箔膜。小游移四探针头,探针游移率在0.1~0.2%。保证了仪器测量电阻率的重复性和准确度。本机如加配HQ-710E数据处理器,测量硅片〓时可自动进行厚度、直径、探针间距的修正〗,并计算、打印出硅片电阻率、径向电阻率】的zui大百分变化、平均百分△变化、径向电阻率不「均习庋。给测量带来很大方便。
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