四探针电阻仪
四探针电阻率测卐试仪
产品名称：四探针电ξ 阻率测试仪
产品型号：GEST-126
产品概述
该仪器按照单晶硅物理测试方法guo家标准,并参考美国 ASTM 标●准而设计的，专用于测试半导体材料电阻№率及方块电阻(薄层电阻)的专用仪器。
仪器由主机、测试台、四探针探头、计算机等部分组成，测量数据既可由主机直接显示，亦可由计算机控制测试采集测试数据到计算机中加以分析，然后以表格，图形方式统计分析显示测试结果。
仪器采用了zui新电子技◆术进行设计、装配。具有☆功能选择直观、测量取数快、精度高、测量范围宽、稳定性好、结构紧凑、易操作等特点。
本仪器适用于半导体材料厂、半导体器件厂、科研单位、高等院校对半导体材料的电阻性能测试
仪器主要技术指标：
三、恒流源：
1．电流输出：10μA, 100μA, 1mA, 10mA, 100mA, 1A,
2. 电流误差：±0.5%
3. 各档连续可调
四、四︼探针测试电极：
1.间距：1±0.01mm；2.针ζ间绝缘电阻：≥1000MΩ； 3.机械游移率：≤0.3％；4.探针：碳化钨或高速钢Ф0.5mm；5.探针压力：5～16 牛顿(总力)；
五、数据打印：
可对测试结果进□ 行打印，显示结果为：电压、电流、电阻、电阻率
六、试验模式：
手动实验：选择恒流源，在设定的恒流源下测试
自动试验：自动扫描合适的量程范围测试
微机测试：连接电脑通过软件进行测试
四探针电阻仪
一、 测量范围：
电阻率：0.00001～20000Ω.cm(可扩展)
方块电阻：0.0001～200000Ω/(可扩展)
电导率：0.00005～10000 s/cm；
电阻：0.00001～20000Ω.cm；
二、电压测量：
1． 量程0.01mV-2000mV
2． 分辨力：10μV；
3． 输入阻抗＞1000MΩ；
4． 精度：±0.1% ；
5． 显示：触摸屏操作∞显示
四探针电阻仪
为测定体积电阻率，试★样的形状不限，只要能允许使用第三电极来抵消表面效应引起的误差ω 即可。对于表面泄漏可忽略不计的试样，测量体积电阻时可去掉保护，只要己证明去掉保护对结果的影响可忽 略不计。
在被保护电极与保护电极之间的试样表面上的间隙要有均匀的宽度，并且在表面泄漏不致于引起 测量误差的条件下间隙应尽可能的窄。lmm的间隙通常为切实可行的*小间隙。
图2及图3给出了三电极装置▃的例子。在测量◥体积电阻时，电极1是被保护电极，电极2为保护电 极，电极3为不保护电极。被∮保护电极的直径d1（图2）或长度l1（图3）应至少为试样厚度h的10倍，通 常至少为25mm。不保护电极的直径d4（或长度［4）和保护电极的外直径d3（或保护电极两外边缘之间 的长度［3）应该等于保护电极的内径d2（或保护电极两内边缘之间的长度lz）加上至少2倍的↙试样厚度。
四探针电阻仪
