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MSTECH
12000CHC
MSTECH
详细说明
该型号为高性能型. 通过软件可进行mapping； 12"wafer 或碎片样品均可适用；低漏电流~50fA, 可选配加热卡盘，高倍显微镜，多通道探针卡，IV,CV,RF,高频等.
规格＆应用：
- 半自动探々针台＆全测量.
- 12英寸低噪音卡盘。
- X,Y转台行程300 x 300mm.
- Z转台：上/下移动距离 15mm.
- 高倍显微镜&高清CCD摄像机
- 定位器：微型定位器主体单元PB100，真空底座分辨率1um.
- 选项：暗箱,防震桌........
