Slotdie狭缝式涂布机 钙钛矿太阳能电池薄膜制备
涂布系统主要包括供料单元和涂布单元，涂布单元是通过利用精密机械加工所制作的上下模及安装在上下模间的薄垫片所组成，供料单元由储料、输送的注射泵及过滤装置等组成。系统由涂布模具相对于基片作精△确运动，通过控制速率、精密计量和泵送工艺流体，将液体化学材料从上下模之间的缝隙挤出涂布于移动的基板（玻璃、不锈钢和塑料等）上形成薄膜。涂膜厚度可由液体流量与基板移动速度直接∩计算，其优点为涂膜均匀性高、可适用的涂料粘度范围广、涂布◥速度快、以及可制作大面积的涂膜。
适用于有机太阳能电池OPV和钙钛矿太阳能█电池PVK等基◣材的涂布，非连续基材如LCD玻璃基板光阻涂布，也应用于光学≡膜（增亮膜、hardcoat、偏光膜、扩散膜等）、OLED涂布等。
多种规格尺寸可选可定制，多种人性№化配置可选：加热台、特殊气体吹淋系统、多尺寸∮刀头，多规格垫片〇等，满足客户多种需求，为客户量身定制高精密专业设备。
?设备整体采用两级调整确保大面积平╳台水平度，涂布平台有单独的调平机构，平台ξ是否平整作为工艺门槛的第.一步相当于地基。
?涂布刀头采用专用合金，特♀殊表面热处理的进口大尺寸刀头（自有专利◤设计技术），防有机溶剂，防形变。
?Z轴采用伺服电机配合编★码器加光栅尺双闭环，确保刀头的位置『精度，和刀头的水平度。
?集成化注射泵，可联动控制溶↘液流速，自动进液，自动除气，自动管路清洗（需要配备清洗液，刀头需㊣拆卸清洗）。
?涂布平台运行机构采用直线伺服电机提高》平台稳定性，将工艺中影响的因素减到极.致。
?废液回收系统，可配合管路清洗进行废液回收，方便废液处理。
?涂布平台带有多区域真空吸附功能，基底定位功⊙能，方便基底定位以及涂布过程的固定。
?多段式〖涂布工艺╱，更好的保证基底首尾膜厚的控制。
- 有机光伏太阳能电池OPV；
- 钙钛矿太阳能电池PerovskitePV；
- 平板显示(FPD),OLED；
- 石墨烯，碳纳米管；
- 超级电容；
- 及其⌒ 他光伏应用；
涂布面积 | 300*300mm(可定制) |
涂布平台尺寸 | 400*500mm(可定制) |
涂层干☆膜厚度 | 0.5-0.8um |
固含量 | 10-50% |
液膜均匀性☆ | ≤±5%~±10% |
固态膜均匀性 | ≤±5%~±10% |
粘度 | 1-2000cps |
涂布速度 | 0-1000mm/s |
出液速度 | 0.01-500ul/s |
刀头高度 | 0-100mm |
刀头水平度 | ±2um |
刀头〓狭缝宽度 | 0.05/0.08/0.1mm |
刀头有效宽度 | 300mm(可定制) |
上海交大
