RTP HR系列快速退火炉 1200℃
快速热处理退火炉简称RTP（RapidThermalProcessingFurnace），在吸收⊙了国际先进生产制造工艺的基础上︼自主研发了该款产品，拥有独立的发明专利。该设备不但拥有极快的升温速率500℃/S，而且在烧结工艺运行完结，直接将试样在高温区取出。实现物理状态下的最快降温。我们的工程师们巧妙地利用了冷壁工艺，在绿色节能环保的基础上真正的实现了试样的╱极速升降温！
腔体采用了独有进气结构，内管进气，外管出气，使得反』应气氛与加工样品充分而均匀地接触。是CVD法生长→大尺寸二维石墨烯的利器。测温元件直接和试样接触，保证试样温度的精♂准性。
应用领域
? 快速热退火(RTA);离子注入后▽退火
? 石墨烯等气象沉↙积，碳纳米管等外延生长
? 快速热氧∏化(RTO);热氮化(RTN);
? 硅化(Silicidation);
? 扩散(Diffusion);
? 离子注入后退火(ImplantAnnealing);
? 电极合金化(ContactAlloying);
? 晶向化◣和坚化(CrystallizationandDensification);
主要特点
? 极速升温500℃/S，极速降温100℃/S；
? 双层炉管结构，气氛与样品接触更均匀；
? 直接测量样品表面温度，测温更精准；
? 炉膛根据设置可自动左右移々动，可∞以满足更多的实验应用；
? 丰富的←扩展接口，能够满足各类试验☉的需求；
