t一.产品简介
tSYDC-100M多层浸渍提拉镀膜机,是专门为多种溶液全自动制备多层薄膜材料的研究工作而设计,对不同液体轮换浸渍提拉工艺得到多层薄膜。浸渍提拉及溶液轮换流程的各参数均精密可调、自动控制。对镀膜基质无特殊要求,片状、块状、圆柱状等均可镀膜。运行稳定、工作时液面无振动,可极大提高实验精度。确保制备均匀的膜层。
t适用于硅片、晶片、玻璃、陶瓷、金属等所有固体材料表面涂覆工艺。
t二.产品特点
t1.精密的垂直提拉装置。最新升◤级为瑞士原装进口的垂直提拉装置部件,采用特种功能材料█制作,具有精密度高、传动无间隙、运行平滑、耐腐蚀、终身免维护、使用寿命ㄨ长等特点。
t2.采用伺服电机驱动。配合瑞士原装进←口的垂直提拉装置和程序控制系统,确保运行精〇度及稳定性,已达到完全消除提拉震动的效果,确保→涂膜均匀。
t3.多参数全自动程序控制。共有六个参数设置:下降速度、浸渍时间、提拉速度、镀膜尺寸、镀膜次数、镀膜间隔时间,各参数均连续可调,精密控制。镀膜程序设定后,从下降到浸渍,再到提拉镀膜的整个镀膜过程全自动运行。
t4.旋转〓台上有6个位置,可最◥多放置6个溶液。可任意编程♀排序,程序控制转换。
t5.高、低速均运行平稳,镀膜时液面无振动,使膜层更均匀、无条纹。
t6.采用4.3英寸液晶触摸屏使控制更方便㊣。运行时,各项参数实时显示,更直观了解镀膜进程。
t7.上下两端均安装有限位传感器,提拉或下降运行时,到限位处自动停止,避免提拉或下降的超限运行。
t8.采用独特设计的平口型夹具,两面均匀夹持样片,不会夹坏样片。
t9.可对不同溶液(材料)进行全自动多层浸渍提拉镀膜;
t三.技术参数
t1.提拉速度范围:1~6000 μm/s,最小@ 分辨率1μm/s;
t2.速度精度:-0.02%~ 0.02%;
t3.最大行程:约200 mm;
t4.适用基片尺寸:MIN 10×10 mm,MAX 100×100 mm,厚度MAX 10mm;
t5.浸渍时间:1~3600 s,最小分辨率1s;
t6.溶液位置:1~6;(旋转台上有6个位置,最多可放置6种材料的溶液);
t7.旋转台转速:0.01~0.3 r/s;
t8.旋转台尺寸〓:?200 mm;
t9.旋转台控制方式:自动程序控制;
t10.循环次数:1~1000次,最少1次;
t11.每次镀膜间隔时间:1~3600 s,最小分辨率1s;
t12.电源:220V/50Hz