聚焦离子束扫描电子显微镜（FIB-SEM）
品牌：ZEISS
名称：聚焦离子束扫描电子显微镜（FIB-SEM）
低电压电子束分辨率提升高达30%。
无论是二维表面成像或三维重构，蔡司Crossbeam的扫描电子束均可提供优异的表现。借助于Tandem decel在样品上施加电压，Gemini光＠学系统可以在1kV下获得高达1.4nm的分辨率，从而对任意样品均可获得优秀的图像。可通过一系列的探测器表征您的样品。通过独特的Inlens EsB探测器，可获取纯的材料成分衬度信息。表征不导电样品╲可以不受荷电效应的影响。
通过FIB智能的刻蚀策略，其材料移除速→率可提升高达40%。
在镓离子类型的FIB-SEM中采卐用了大离子束束流。使用高达100nA的离子束束流可显著节约时间，同时具有优秀的FIB束斑形状，从↙而获得高分辨率。得益于智能的FIB扫描策略，移除材料时高效∏且精准。可自动批量制取样品，例如截面，TEM样品薄片或任何◤使用者自定义的图形。
体验整合的三维能谱分析所带来的优势
可使用蔡司Atlas
5软件扩展您的∞Crossbeam，它是一个针对快速而准确的三维断层成像的软硬件包。使用Atlas 5中集成的三维分析模块可在三维【断层成像的过程中进行能谱分析蔡司Crossbeam将Gemini电子束镜筒和定制的◇聚焦离子束镜筒结合起来，从而获得高精度与速度。因此FIB-SEM的断层成像〖可获得优异的三维空间分辨率和各向同性的三维体素尺寸。使用Inlens EsB探测器，探测∩深度小于3nm，可获得∑ 表面敏感的、材料成分衬度图像。
