私人定制 该产品为定制产品，中外合作，价格需电议，厂家直销
仁荷微电子科技有限公司主要从事质量流量器的研制、开发、制造、销售以及质量流量器各种配件模具的设计、加工等相关的服∏务。产品包括超高质量的气体质量流量控制仪器及测量仪器、气体工艺解决方案和全球服务支持方案。本公♀司产品气体质量流量控制器广泛应用于工业气︽体、石油、化工、医疗、电子及微电子、半导体、太阳能光伏、各类实验室、研究所、生物医药、标准检测等各类高新技术领域，为客户提供各种气体∩管道输送系统的全面服务。深受广大客户的肯定及认同。
我公司生产的气体质〓量流量控制器所使用的技术全由我们独家技术，具有自主知识产权，产品的每一个部件◥都有我们自己设计制作，且已取↑得了多项技术专利申请,气体质量流量控制◢器每一个部件我们都以精益求精的质量服务广大客户，让客户体验到自动化流量控制设备带来↑的改变，为现有的产品技术升级提供基∞础服务。致力于为客户开发“生产工艺最优化和成本化”的解决方案及相关卐产品。并且能够提供高效优质的售后服务。
产品优势：
本公司自主开发研制的产品质量流量计，是一种先进的智能精密质量流量测量仪表。可直接用来测量管道中介质的质量流量及↙总量、体积流量及总量、介质的密度、温度、溶液的浓度以及◆较均匀混合的两种液体各自的浓度等参数。 该流量计即使在恶劣的工作环境下也能表现出优异的性能。对工况条件也没有苛刻的要求。具有抗干扰能力强，测量精度高、量程比大、工作稳定可靠、对▲安装要求低、对流体状态要求低，压力损失小等优点，且易清洗、具备自排空功能；其基本技术指标已达到国际先进水平， 每台传感器都由不锈钢材料制造，变送器的多种输出能满足您的各种需求。我公司生产的产品所使用的技术全由我们独家技术，具有自主知识产权，产品的每一个部件都有我们自己设计制作，且已取得了多项技术专利申请
MF系列
MF-50/100/200C MF-100/200M
MF产品系列特点：
有很宽的工作压力范围，产品可以从真空直到10Mpa;本产品可以使用多种气体介质（包括一些腐蚀性气体，如三氟化硼▓、三氯化硼、氯化氢、氟化氢等等）；有很宽的流量范围，产品最小流量范围可达0~10sccm，最大流量范围可达0~30slpm。流量控制范围是满量程的2~100%（量程比为50:1）。
——耐高压（最大工作压力可达100bar）
——响应时间快≤1sec
——模拟输入输出接口（0-5Vdc或4-20mA可选）
——连接尺寸与其他标准质量流量器∑ 兼容
——尺寸小
——连接方便，快拆快拧
——交货周期短
——优惠的价格极具性价比
——准确率高
——稳定的流量控制
——压力范围广
用途和特点
气体质量流量控制器（MFC）在石化工业、生化、半导体和集成电路工业、特种材料学科、医药、蔬果保鲜、加气饮料、环保和真空等多种领域的科研和生产中有着重要的应用。其典型的场合包括：电子工艺设备，如：氧化、CVD、MOCVD、扩散、外延、等离子刻蚀、离子注入、溅射、以及微反应装置、混气配气系统、真空镀膜设备、光纤熔炼、气相色谱仪及其他分析仪器。
结构
气体质量流量计由流量传感器（Sensor），分流器通道和流量放大电路等部件组成；在气体质量流量计的基础上，再加上调节阀门和PID控制电路就构成了气体质量流量控制器。
工作原理
•流量传感器采用毛细管传热温差量热法原理气体的质量流量（无需温度压力补偿）。
•将传感器加热电桥测得的流量信号送入放大▆器放大，放大后的流量检测电压与设定电压进行比较，再将差值信号放大后去控制调节阀门，闭环控制流过通道的流量使之与设定的流量相等。
•分流器决定①主通道的流量。
•与之配套的流量显示仪上设置有稳定电源，3位半数字电压表，设定电位器，外设、内设转换和三位阀控开关等。
•控制器输出的流量栓检测电压与流过通道的质量成正比，满量程（F.S）流量检测输出电+5V。气体质量流量¤控制器的流量控制范围是（2~100）%F.S（程比为50：1）
主要技术指标
编号项目MF-200CMF-200M
1流量规格（N2）10sccm～30slpm
2准确度±1％F.S(Full Scale)
3重复精度±0.25％F.S（Full Scale）
4响应时间≤2sec（特别要求时：≤1sec）
5耐压≤90bar
6工作环境温度0℃～50℃
7输入输出信号0～5V0～5V or 4～20mA
8供电+15Vdc or +24Vdc 350mA
9漏率1×10atm.cc/sec
10使用范围2～100％满量程
