一分彩

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                掩膜对准光∑刻机

                掩ξ 膜对准光刻机
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                • 掩膜◣对准光刻机
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                美国
                国防科技大学,复旦大学,北京大学
                详细说明

                MYCRO原装进口美国恩科优N&amp;Q系列光刻机(Mask Aligner),是全球领先的光刻系统,在光刻领域有超过35年的经验,全球售出1000多套设备,为半导体制造和科研领域提供品质优良稳定的全波△段紫外光刻机系统,广泛的应用于半导体光刻工艺制程、微机电MEMS、二极管芯片、发光二极体(LED)芯片制造、生物器件、纳米科技、显示面板LCD、光电器件、奈米压印以及电子封装等诸多领域。

                品牌:恩科优(N&Q

                产地:美国

                恩科优光刻机分为半自动和全自动两大系列。其中,N&Q4000系列光刻机是以半自动系统为主。该系统优越的操作性,超高的分辨率,均匀的光学系统,现代先进的接近式和接触式光刻及超高的性价比,使恩科优光刻系统已经被全国各地众多著名企业、研发中心、研究所和高校采用,并成为他们光刻系统的首选;

                二、技术参数:

                1、芯片尺寸:5mm~150mm的圆片/方片和不规则碎」片(支持对◥不规则碎片的特殊卡盘设计);

                2、曝光波长:350nm-450nm(其它波长可选配);

                3、汞灯功率:350W/500W(其它功率可选█配);

                4、分辨率:优于0.5um

                5、曝光模式:支持接近式曝光,各种接触式(真空接触、软接触、硬接触等)曝光;

                6、出射光⊙强范围:10mW/cm2~55mW/cm2@405nm

                7、支持恒定光强或╱恒定功率模式;

                8、曝光时间:0.1~999.9s

                9、对准精度:双高清彩色CCD +双高清彩色监视器,对准〒精度可达到0.4微米内;

                10、掩膜尺寸:2 x 2英寸到9 x 9英寸(2 x 2英寸需要掩膜转换器)

                11、光强均匀性Uniformity

                <±1% over 2区域;

                <±2% over 4区域;

                <±3% over 6区域;

                12、双面光刻:具备背面№红外对准(IR BSA)和光学背面对准(OBS BSA),双面对准精度≤2μm

                13、电源:高灵敏度光强可控◆电源。

                可选型号:

                NXQ400-6

                NXQ400-8

                NXQ800-6

                NXQ8006 Sapphire

                NXQ800-8

                三、产品特点:

                可选支持单面对准和双面对准设计;

                高清晰彩√色双CCD镜头采用最先进的分裂视场显微镜镜头(基于无限远修♀正的CCD镜头设计);双头高清全彩物镜(单视场或分裂视场可供★用户灵活选择);

                高清彩色双显示屏;

                全新气动轴承导轨设计,高精准,低磨损,无▃需售后维护的;

                具有自动执行楔形误∮差补偿,并在找平后自动定位功能;

                操作简易,具有支持多操作员同台使用的友好操作界面々;

                操控手柄调控模式的独特设计;

                采用LED穿透物镜照明技△术,具有超强对准亮度;

                采用基于无限远修正的显微镜镜头架构;

                抗衍射反射的高效光学光⊙路设计;

                带安全保护功能的温度︼和气流传感器;

                全景准直透镜光线〒偏差半角: <1.84度;

                设备稳定性,耐用性超高;

                掩膜对准光【刻机

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