概要
MT-30A系列采用温度变化对应于质量流量的原理，可以对不同的气体进行流量测量及控制。
可应用在5SCCM到30SLM的气体流量范围，并且不会受到温度及压力变化的影响。
产品系列完整，可选择数字式，模拟式，普通，高精度，高压力型，性能且价格具有竞争力，应用领域广泛。
特点
o模拟式热质式流量计/流量控制器：
-低单价
-环境温度补正
-可应用的流率范围广：
-0～5，10，20，30，50，100，200，500SCCM
-0～1, 2, 3, 5, 10, 15,20, 30SLM
o高精度
±1%(≤15SLM)
±2%(＞15SLM.)
o可选用LF系列控制模块，具有︻数位显示、电源供应、流量设定等功能
o国际兼容
应用
o工业设施的气体供应监测/控制。
o气体分析设备。
o固定气体流量控制。
o气体混合或分离设备
标准 气体质量流量用氮气(N2)标定。
标准状态规定为：
标准温度………………0℃（273.15K）
标准压强………………101325Pa
输入输出
|
低价格，高性能 MT-30A模拟式系列 热式质量流量計/流量控制器 |
输入设定电压…………0～+5.00V
输出电压检测…………0～+5.00V
型号
|
MT-30A |
□ |
□ |
－ |
□□□ |
－ |
□□□ |
－ |
□ |
□ |
□ |
|||
|
型式 |
A |
模拟式 |
|||||||||||
|
B |
数字式 |
||||||||||||
|
功能 |
|
M |
流量计 |
||||||||||
|
C |
流量控制器 |
||||||||||||
|
流量范围 |
|
ABC |
|
||||||||||
|
气体种类 |
|
013 |
N2 |
||||||||||
|
008 |
Air |
||||||||||||
|
015 |
O2 |
||||||||||||
|
004 |
Ar |
||||||||||||
|
025 |
CO2 |
||||||||||||
|
001 |
He |
||||||||||||
|
FFF |
其他 |
||||||||||||
|
接头 |
1/4”VCR |
1 |
|
||||||||||
|
1/2”VCR |
2 |
||||||||||||
|
3”SWL |
3 |
||||||||||||
|
6”SWL |
4 |
||||||||||||
|
其他 |
F |
||||||||||||
|
讯号 |
DC 0~5V |
1 |
|
||||||||||
|
其他 |
2 |
||||||||||||
|
电源 |
DC+/-15V |
1 |
|||||||||||
流量范围是以mL/min，L/min 为单位
例：
5mL/min 表示为005
500mL/min表示为500
50 L/min(nor) 表示为50L
规格(热式)
|
功能 |
流量计/控制器 |
|
|
基本型号 |
MT-30A |
|
|
满量程流量范围(N2) |
SCCM |
0～5，10，20，30，50，100，200，500 |
|
SLM |
0～1, 2, 3, 5, 10, 15,20, 30 |
|
|
精度(％F.S) |
±1(≤15SLM) |
|
|
±2(＞15SLM.) |
||
|
控制阀动作型式 |
常闭式 |
|
|
线性(％F.S.) |
±0.5～1(≤15SLM) |
|
|
±2％(＞15SLM.) |
||
|
重复精度(％F.S.) |
±0.2 |
|
|
响应时间(sec) |
≤1 |
|
|
流量输出信号 |
0-+5.00V |
|
|
流量设定㊣信号 |
0-+5.00V |
|
|
电器接头 |
DB15 pin(接头) |
|
|
工作环境温度 |
(℃) |
5～45 |
|
工作压差 |
(MPa) |
0.1～0.5 |
|
漏率 |
SCCSHe |
1×10-9 |
|
最大耐压 |
3MPa |
|
|
介质接触材质 |
304，316，316L |
|
|
密封材料 |
氟橡胶，硅橡胶，丁腈橡胶，聚四氟№乙烯 |
|
|
接头 |
VCR" 1/4、1/2 |
|
|
Swagelok1/8”、1/4” 、3/8” 、1/2”或φ3、φ6、φ8、φ10、φ12mm |
||
|
接头和尺寸 |
Φ6mm,1/4"Swagelok:127×28×100mm 1/4"VCR:127×28×100mm |
|
|
电源要求 |
+15V,50mA;-15V,200mA |
|
|
重量 |
0.75KG |
|
