ProtoLaser LDI是一款多功能，高精度，桌面型无掩膜激光直写光刻设备，用于在光致抗蚀基材上成像，无需掩膜，比传统光刻工艺形成的图像精度更高。工作幅面达100×100mm。最细通道宽度1μm。 ProtoLaser LDI是微流体通道设计和制作的理想工具。
无掩膜激光直写光刻设备
LPKF ProtoLaser LDI采用UV紫外激光技术，直接读取设计数据，激光直接在感光层上形成ω精细结构。无需昂贵的曝光设备，也无需外加工】昂贵的掩膜。
这一工艺可加工多种平整的基材表面，无特殊环境◤条件要求（推荐使用黄灯）。只需▆将样品放入标准或客户定制的承载装置，然后直接推入ProtoLaser设备中即可。
该工ㄨ艺为非接触式，因此不涉及工具损耗，设备多年不需要维护，几乎没有运行□ 成本。这使得该设备对于创新性设计测试方面，是一款非常完美、耐用的工具。LPKF ProtoLaser LDI很大程度上提高了创新实现的可能性。
LDI的优点：快稳准，功能强大易操作
通过声光偏转器将100kHz光束定位，使激光极速直写成为可能卐，只需花费几分钟即可制作一款典型的微流体通道。自动检测功能可以弥补基材面或感光层不平的问题。
ProtoLaser LDI 支持DXF文件，并且可▼以对CAD文件进行修改。多种嵌入功能使微流体通道设计非常简单←和高效。可选择不同激光刀具和算法，来优化】直写速度得到精细结构。所有的准备工作都可以通过可视化软件进行控制。
| 基材尺寸 | 可达100 mm x 100 mm (4’’ x 4’’) |
| 激光波长 | 375 nm |
| 激光光斑尺寸 (TEM00) | 1 µm (0.04 Mil) and/或 3 µm (0.12 Mil), 用户可自选 |
| 激光光斑定位分辨率 | < 1 nm |
| 激光直写速度 | 可至100 000 spots per second |
| 图形尺寸 | 可至 1 µm (0.04 Mil) |
| 数据输入格式 | DXF, Gerber, BMP |
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电源 |
230 V/50 Hz, 100 VA |
| 设备尺寸 (W x H x D) | 650 mm x 522 mm x 626 mm (25.6” x 20.6” x 24.6”) |
| 重量 | 80 kg (176.4 lbs) |
| 集成摄像头 | 用于样品检测和校正摄像头 |
| 硬件和软件的要求配置 | Windows 7, 32 bit or Windows XP, 32 bit with service pack 3,1.3 GHz processor or higher, 2 GB RAM (4 GB recommended), 160 MB of available hard-disk space for installtion， screen resolution min.1024*768 pixles (1600 x 1050 recommended) |
