适用范围:
设备可在片状或类似形状样品表面沉积SiOx、SiNx、非晶硅、微晶硅、纳米硅、SiC、类金√刚石等多种薄膜,并可沉积p型、n型掺杂◆薄膜。沉积的薄膜具有良好的均匀性、致密性、粘附性、绝缘性。广泛应用↙于刀具、高精模具、硬质涂层、高端装饰等领⌒ 域。
产品特点 :
多晶纤维炉膛,节能耐▽腐蚀
重量轻、升温速度快、节能、省时、耐高温、耐腐蚀、保温性好,能满足何种快速烧结的要求。
重量轻、升温速度快、节能、省时、耐高温、耐腐蚀、保温性好,能满足何种快速烧结的要求。
炉管采用高纯度石英玻璃材料工艺加工
具□ 有极低的热膨胀系数、耐高温、化学稳定性好、电△绝缘性好。
具□ 有极低的热膨胀系数、耐高温、化学稳定性好、电△绝缘性好。
双层内胆炉壳▂,配有风冷系统,快速升降温
整个炉体采用双层内】胆式结构,中间有气隙隔离,即使炉膛温度高达1200℃,炉体表面仍然可以安全触摸无滚烫Ψ感觉。
整个炉体采用双层内】胆式结构,中间有气隙隔离,即使炉膛温度高达1200℃,炉体表面仍然可以安全触摸无滚烫Ψ感觉。
法兰采用双环密封技术
有效的提高了法兰的气氛性,法兰上█装有多种接头,可接电阻真空计、真空波纹管◣并能做成容易撤卸的铰链式。
有效的提高了法兰的气氛性,法兰上█装有多种接头,可接电阻真空计、真空波纹管◣并能做成容易撤卸的铰链式。
内嵌式合金电热丝≡,升温快,寿命长
加热元件采用优质内嵌式合金电热丝,发热效率高、耐高温、抗氧化、耐腐蚀、升温快、寿命长、高温变形小、安装维修方便,使用寿命长。
加热元件采用优质内嵌式合金电热丝,发热效率高、耐高温、抗氧化、耐腐蚀、升温快、寿命长、高温变形小、安装维修方便,使用寿命长。
微电脑PID控制器,操作简便
操作简便,控温精确、可靠、安全多段可编●程控制,可以简化复杂的试验过程,真正实现自动控制和运行。
炉体配有:输出电╳压和输出电流监测表,炉子加热状态一目了然了。
操作简便,控温精确、可靠、安全多段可编●程控制,可以简化复杂的试验过程,真正实现自动控制和运行。
炉体配有:输出电╳压和输出电流监测表,炉子加热状态一目了然了。
真空系统采用高真空分子泵组,性能卓越
性能可靠:整体型复合转子,强度高、性能稳定;
洁净无油:采用脂润滑精密陶瓷轴承,无油蒸汽污染。
性能可靠:整体型复合转子,强度高、性能稳定;
洁净无油:采用脂润滑精密陶瓷轴承,无油蒸汽污染。