产品详细介绍一、产品概述:
SPIN150i型匀胶机适应于半导体、化工材料、硅片、晶片、基片、导电玻璃等工艺,制版的表面涂覆。MYCRO的SPIN系列匀胶机具有稳定的转速和快速的启动,可以保证半导体中胶厚度的一致性和均匀性,这正是SPIN150i型匀胶机的特点。
二、匀胶机工作原理:
匀胶机(spincoater)的工作原理是高速旋转基片,利用离心力使滴在基片上的胶液均匀的涂在基片上,匀胶机常用于各种溶胶凝胶(Sol-Gel)实验中的薄膜制作,厚度视不同胶液和基片间的粘滞系数而不同,也和旋转速度及时间有关。
三、匀胶机主要性能指标:
1、腔体直径:8英寸(202毫米);
2、Wafer芯片尺寸:10-160mm直径的材料,4英寸方片;
3、转速范围:1~12000RPM**,±1rpmsteps;
4、最大加速度:30000RPM/S;
5、转速精度:±0.1rpm;
6、程序段数:无限制;
7、操作步数:无限制;
8、旋转时间:无限制*,±0.1Secondsteps;
9、旋转方向:顺时针,逆时针,交换摆动;
10、扩展接口:1个USB接口;
11、马达保护:20-50kPa,2-5l/min,TubeODØ6mm(可关闭);
12、排废连接:1”M-NPT;
13、触屏控制:全彩触摸屏控制界面
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主营产品:匀胶机,旋涂仪,甩胶台,匀胶台,涂层机,涂胶机,涂膜机,旋转涂敷仪,HPC,PPC,PAC,SCE系列等离子清洗〒机,Cargille光学试剂,光刻机/曝光机,压力机,压片机,热压机,WABASH热压机,CARVER热压机,LAURELL匀胶机、HOTPLATE热板烤胶机
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Wenesco/EMS/Unitemp加热板LaurellEDC系统,湿站系统NXQ光刻机
Anatech等离子系统Wabash/Carver自动压片机
公司名称:迈可诺技术有限公司