产№品详细介绍1、匀胶机工作原理:
匀胶机(spincoater)的工作原理是高速旋转基片,利用离心力使滴在基片上的胶液均匀的涂在基片上,匀胶机常用于各种溶胶凝胶(Sol-Gel)实验中的薄膜制作,厚度视不同胶液和基片间的粘滞系数而不同,也和旋转速度及时间有关。
2、匀胶机型号及技术参数如下:
型号
SPIN150i
SPIN200i
POLOS300
POLOS450
POLOS600
基片范围
直径160mmor4?方片
直径260mmor6?方片
直径360mmor8?方片
直径460mmor350mm方片
直径600mmor430mm方片
三、匀胶机◥的特点:
1、该匀胶▂机采用德国先进技术:
2、匀胶机采用NPP天然聚丙烯材质构造设计,这种材质有很好的抗腐蚀性和抗化学物性,美观大方;
3、匀∩胶机真空Chuck经精密加工制成,具有良好的光洁度及@ 平整度,保证晶圆片被很好地吸附,主轴采用进口微型单列向心球轴承支撑,轴向有弹性◆垫及调整垫,可保障主轴具有较高的精度。
4、在安装结构上,采取了减振措施,保∮证了在运转时噪音很低,保证涂覆表面均匀,保证通过调节转速调节涂覆厚度。
5、匀胶机腔体配备吹氮▃(N2)功能,或压缩空气、氮气压力可通过调压阀▲和节流阀实现调节,与配套真空泵一同使用。