详细说明
产品性能介绍：
EasyCoater 4 匀胶机被设计为结构紧凑、
简单易用，可多步操作，性能稳定，具有优
异的性价比。
u 结构紧凑
EZ4外型尺寸为：210(W)*265(D)*213(H)，
特别适合放于手套箱内操作。最大推荐旋涂4
寸圆晶的底物。
u 简单易用
文本显示屏，界面简单易用，清晰的功能
按键，方∑ 便灵活操作。
u 程控操作
可提供单步或多步编程旋涂工艺运行，最
多可运行5步不同转速及加速度的旋涂程序。
u 性能稳定
工ζ 业级直流马达，单片机控制，转轴旋转
稳定，重复性好，精度高。
u 设计新颖
全铝合♀金外壳，阳极氧化铝耐腐蚀机身。
全PP注塑耐腐蚀易清洁旋转腔，PC耐腐蚀透
明盖。
