MIRA3 GM是一款完全由计算机控制的场发射扫描电子显微镜，可在高真空和低真空模式下操作，其具有突出的光学性能，清晰的数字化图像，成熟、用户界面友好的操作软件等特点。
基于Windows™平台的操作软件提供了简易的电镜操作和图像采集，可以保存标准文件格式的图片，可以对图像进行管理、处理和测量，实现了电镜的自动设置和许多其它自动操作。
概述
分析潜力
MIRA3配置
MIRA3 GMH
大样品室高真空式电镜，配备有可选的马达驱动样品台，适合观测导电的样品。
MIRA3 GMH
（分析型特大样品室，延长马达驱动样品台，高真空操作⌒ ）
MIRA 3 GMH是一款完全由计算机控制●的高分辨率场发射扫描电子显微镜，在高真空模式下操作，其具有突出的电子光学性能，清晰的数字化图像，成熟、用户界面友好的操作软件等特点。基于Windows™平台的操作软件提供了简单的电镜操作和图像采集，可以保存标准文件格式的图片，可以对图像进行管理、处理、和测量，实现了电镜的自动设置和许多其它自动操作。
最重要的特性：
u 高亮度肖特基电子枪可得到高分辨率/高束流/低噪声的图像
u 镜筒中的In-Beam二次电子探测器（选配）用于小工作距离条件下二次电子的检测
u 独有的三透镜大视野观察（Wide Field OpticsTM）设计，提供了多种工作模式和显示模式，体现了TESCAN专有中间透镜（IML）光束优化的功能
u 结合了完善的电子光学设计软件的实时电子束追踪技术（In-Flight Beam Tracing™），可模拟和进行束斑优↘化，包括直接和连续控制电子束束斑和束流大小
u 电子束减速模式在低电压下获取优秀的分辨率(选配)
u In-Beam背散射电子探测器用于小工作距离的背散射电子成像，甚至可用于铁磁性样品的成像（选配）
u 成像速度快
u 高通量大面积自动化，例如自动颗粒分布和分析
u 计算机优化、马达驱动的样品台
u 利于EDX、WDX、EBSD分析的理想几何设计；非扭曲的EBSD模式
u 由于使用了强力的涡沦分子泵和机械泵，因而可以快速♀简单得到干净的真空样品室；电子枪的↑真空度由离子泵来维持
u 包括电子光学设◆置和校准的全自动显微镜设置
u 完善的软件用于SEM控制，图像采集、存档、处理和分析；多用户多语言操作界面
u 网络操♂作和内置的远程控制/诊断是TESCAN的标准配置
u 独特的3维电子束技术用于获得实时立体图像
MIRA3 GMU
可变真空式SEM，体现了高真空模式和低真空模式的优点。在低真空模式下可以观测不导电的样品，不需要喷金。
MIRA3 GMU
（分析型特大样品室，延长马达驱动样品台，可变真空操作）
MIRA 3 GMU是一款完全由计算机控制的高分辨率场发射扫描电子显微镜，可在高真空和低真空模式下操作，其具有突出的电子光学性能，清晰的数字化图像，成熟、用户界面友好的操作软件等特点。基于Windows™平台的操作软件提供了简单的电镜操作和图像采集，可以保存标准文件格式的图片，可以对图像进行管理、处理、和测量，实现了电镜的自动设置和许多其它自动操作。
最重要的特性：
u 高亮度肖特基电子枪可得到高分辨率/高束流/低噪声的图像
u 镜筒中的In-Beam二次电子探测器（选配）用于小工作距离条件下二次电子的检测
u 独有的三透镜大视野观察（Wide Field OpticsTM）设计，提供了多种工作模式和显示模式，体现了TESCAN专有中间透镜（IML）光束优化的功能
u 结合了完善的电子光学设计软件的实时电子束追踪技术（In-Flight Beam Tracing™），可模拟和进行束斑优化，包括直接和连续控制电子束束斑和束流大小
u 电子束减速模式在低电压下获取优秀的分辨率(选配)
u In-Beam背散射电子探测器用于小工作距离的背散射电子成像，甚至可用于铁磁性样品的成像（选配）
u 成像速度快
u 高通量大面积自动化，例如自动颗粒分布和分析
u 计算机优化、马达驱动的样品台
u 利于EDX、WDX、EBSD分析的理想几何设计；非扭曲的EBSD模式
u 由于使用了强力的涡沦分子泵和机械泵，因而可以快速简单得到干净的真空样品室；电子枪的真空度由离子泵来维持
u 包括电子光学设置和校准的全自动显微镜设置
u 完善的软件用于SEM控制，图像采集、存档、处理和分析；多用户多语言操作界面
u 网络操作和内置的远程控制/诊断是TESCAN的标准配置
u 独特的3维电子束技术用于获得实时立体图像
u 扩展的低真空模式使样品室真空可达500Pa用于非导电样品的观察
