1.配多只新型弧靶,可镀TiN\CrN\ZrN\TiC\TiCN\TiAlN\TiAlCN\DLC膜等;
2.新型多弧靶弧斑运动速度较快,弧斑能∮量密度降低,减少了弧斑对╱膜层材料的融化,具有离化率高、成膜致密的功能,通过♂直线过滤功能可以一定程度上滤掉粗糙的ζ 大颗粒液滴,使镀膜表面成膜致密,增』加膜层表面光洁度。
3.广泛应用于刀具、高精模具及关键部件上镀硬质膜、耐腐蚀膜等功能〓薄膜。
技术指标:
型号 | GDM-800 |
腔室尺寸 | Φ800*H900,不锈◤钢双层水冷 |
真空系统 | 2套复合分子泵+直联机械泵高真空系统 |
极限真空 | 9.0×10-5Pa |
抽速 | 从大气压⊙到5.0×10-3≤25min |
工件架 | 三轴联动转架机构 |
加热系统 | 管状加热∞器,加热温度500°,PID智能温控仪控制 |
可镀膜尺①寸 | Φ560×L720mm |
弧源种类 | 新型磁过滤弧电源6-12套及配♀套电源 |
偏压电源 | -1000V |
气路系统 | 高灵敏度MFC,四路独立控制 |
总功率 | 80KW |
水冷系统 | 冷却循环水机及水冷检测报警保护 |
控制方式 | PLC+PC自动或手○动控制可选,手自一体,操作简便,参数设↓置方便;实时记录、保存设备参数,报警系统完善 |