一分彩

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                GDM-800 工具镀膜设备

                GDM-800 工具镀膜设备
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                详细说明

                GDM-800 工具镀膜设备

                1.配多只新型弧靶,可镀TiN\CrN\ZrN\TiC\TiCN\TiAlN\TiAlCN\DLC膜等;
                2.新型多弧靶弧斑运动速度较快,弧斑能∮量密度降低,减少了弧斑对╱膜层材料的融化,具有离化率高、成膜致密的功能,通过♂直线过滤功能可以一定程度上滤掉粗糙的ζ 大颗粒液滴,使镀膜表面成膜致密,增』加膜层表面光洁度。
                3.广泛应用于刀具、高精模具及关键部件上镀硬质膜、耐腐蚀膜等功能〓薄膜。
                技术指标:

                型号 GDM-800
                腔室尺寸 Φ800*H900,不锈◤钢双层水冷
                真空系统 2套复合分子泵+直联机械泵高真空系统
                极限真空 9.0×10-5Pa
                抽速 从大气压⊙到5.0×10-3≤25min
                工件架 三轴联动转架机构
                加热系统 管状加热∞器,加热温度500°,PID智能温控仪控制
                可镀膜尺①寸 Φ560×L720mm
                弧源种类 新型磁过滤弧电源6-12套及配♀套电源
                偏压电源 -1000V
                气路系统 高灵敏度MFC,四路独立控制
                总功率 80KW
                水冷系统 冷却循环水机及水冷检测报警保护
                控制方式 PLC+PC自动或手○动控制可选,手自一体,操作简便,参数设↓置方便;实时记录、保存设备参数,报警系统完善

                可以根据客户需求〇订制

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