1.适用于大面积自支撑金刚石ξ厚膜、大面积微米金刚石涂层和批量纳米金刚石工具涂层的制备。
2. 热丝CVD金刚石在力学、热学、电学和声学等领域存在广泛应用，例如：拉丝模芯胚料、砂轮修整工具胚料、工具金刚石涂层、芯片散热衬底、大面积水处理电极和声表面波器件基片材料等。
生长毫米级金刚石厚膜、金刚石薄膜、类金刚石膜、氮化硅和氧化硅膜等，最大生长面积200mm。
2.在切削刀具、钻头、丝锥等表面沉积金刚石薄膜。
| 型号 | HF-650 |
| 真空腔室尺寸 | Φ650×H500mm |
| 真空腔室结构 | 立式前开门结构，后置抽╲气系统，双层水冷 |
| 真空系统 | 扩散泵+机械泵+维持泵 |
| 极限真空 | ≤1.3×10-3Pa |
| 真空测量方式 | 两低一高数显复合真空计、薄膜压力计 |
| 基片台尺寸 | Φ200mm |
| 基片台升降 | 0-100mm |
| 基片台转速 | 0-3转/分（可调） |
| 热丝温度 | 2000℃-2500℃ |
| 衬底温度 | 600℃-1100℃ |
| 制膜种类 | 金刚石厚膜、类金刚石膜、氮化硅和碳化硅膜等 |
| 电源型式 | 热丝电源 |
| 真空控制方式 | 手动/自动控制可选 |
| 工艺气体控制方式 | 4路工艺气体流量控制及显示系统 |
| 报警及保护系统 |
对泵、靶等缺水、过流过压、断路等异常情况进行报警并执行相应保护措施 |
