1.蒸发镀膜与手套箱环境有机融合，实现蒸镀、封装、测试等工艺无缝对接。
2.多组蒸发源，兼容有机与⌒ 金属蒸镀，广泛用于钙钛矿太阳能电池/锂电池及OLED薄膜等研究系统。
主要技术指标：
| 型号 | ZHDS-400 |
| 真空腔室 | L400×W400×H450，前后开▼门结构，SUS304不锈钢材质, |
| 真空系统 | 复合分子泵+直联旋片泵，超高真空插板阀，“两低一高”数显复合真空计 |
| 极限真空 | 优于5.0×10-5Pa(如需获¤得更高的真空度可选择进口真空泵组) |
| 基片台 | ≤120mm；基片台加热：室温～300℃；基片台旋转及光控定位 |
| 蒸发源 | 6组蒸发源（舟式源或挂丝源，兼容◥有机材蒸发） |
| 膜厚控制 |
掩膜及膜厚控制系统：定制掩膜机▓构 采用晶振膜厚仪在线监测、控制膜厚 |
| 手套箱系统 |
手套箱箱体尺寸：大箱体L1800/1200×W750×H900mm 箱体泄≡露率<0.05vol%/h，标准环境箱体内水、氧指标<1ppm |
| 控制方式 | 镀膜系统采用手动或PLC触摸屏㊣控制，手套箱系》统采用PLC+触摸屏控制 |
| 报警及保护系统 | 对泵、电№极等缺水，过流过压，断路等异常情况进行报警并执行相应保护措施；完善的逻辑程序互锁保护系统 |
