1.e型电子枪组合1～2组蒸发源，蒸镀金属及氧化物.
2.平板/球形基片台可选，TEMD-600（研究所/高校的科研）与TEMD-1000(企业的批量生产)可选。
技术指标：
| 型号 | TEMD-600 |
| 真空腔室 | Ф600 ×600mm |
| 真空系统 | 复合分子泵机组 |
| 极限真空 | 8.0×10-5Pa |
| 衬底加热 | 最高300℃、PID温度控制及调节 |
| 基片架 | 平板形/球罩形，转速可调 |
| 反溅清洗 | DC / RF（可选） |
| E-型电子枪及电源 | 功率8KW/10KW（4/6坩埚） |
| 控制方式 | 手动/计算机控制 |
| 报警及保护系ζ 统 |
对泵、电极等缺水，过流过压，断路等异常情况进行报警并执行相应保护措施；完善的逻辑程序互锁保护○系统 |
