型号
Model No.
PS3H30-005U
行程范围
Travel range
闭环
Closed loop
5.5μm
开环
Open loop
5.5μm
分辨率
Resolution
0.2nm
重复定位精度
Repeatability
0.05)%F.S.
线性度
Linearity
0.1%
俯仰/偏航/滚动
Pitching/Yawing/Rolling
2” / 2” / 2”
承载能力
Load capacity
5N
谐振频率
Resonant frequency
0g
(X)1600,(Y)1600,(Z)3000Hz
刚度
Stiffness
0.7N/μm
静电容量
Capacitance
0.8μF
重量
Weight
200g
本体材质
Body material
铝（B）
Aluminum
