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产品型号：GT2004

所在地区：陕西

微波等离子体实验装置 GT2004

自然↑界中物质的形态除了固、液、气三种形态之外, 还存在第四态, 即等离子体状态. 等离子体的产生过程为: 固体物质在受热的情况下熔化成液体, 液体进一步受热后变成气体, 气体进一步受热后, 中性的原子和分子电离成离子和电子, 形成等离子体.  由于等离子》体中含有大量具有高能量的活性基团, 这使得等离子体能够参与或发生许多不同的化学或物理反应.      GT2004微波等离子体实验装置由微波源、真空系统、供气系统、冷却水⌒　系统、微波传输→及微波谐振腔组成; 由微波源产生的▓频率为2.45GHz的微波, 沿矩形波导管传输, 经过调整短路活塞, 最后在水冷谐振腔反应室内激励∏气体形成轴对称的等离子体球.

可开▼设的实验Ψ 在基材(如硅片)上完成微波等离子体化学气相沉积法制备各种功能薄膜材料(如BN薄膜、金刚石薄膜、氮化碳薄膜︽等)、微波等离子体刻蚀加工实验、材料㊣表面改性、微波等离子体清洗材料表面、微波等离子体化学合成等实验; 适合大学∏物理、材料、化学等领域的学生实验】及  教师科学¤研究.  培养学生掌握等离子体技术的应用.      主要特点   ? 无内部电极, 可避免放电污染, 运行◣气压范围宽, 能量转换效率高, 可产生大范围的高密度等离子体.    ? 设有垂直交叉的两个方向的透明观察窗, 可直观观察等离子体的放电特性.    ? 微波等↓离子体刻蚀精度达到亚微米级.  制备各种功能薄膜ζ　材料的速率较快.    主要参数及性能 ? 微波源: 功率0～800W连续可调输出; ? 真空系统: 采用旋片真空泵, 单相220V交流电源, 极限真空6×10-1帕, 抽速2升/秒; 真空计采用数显压阻式真空计和热偶真空计联合作∞用, 用于测量本底真空和工作时的工作气压.  真空密封采用金属和橡胶密封; 真空调节采用隔膜阀粗调和微调阀精细调节, 调节快速方便、稳定性好. ? 供气系统: 有两路独立供气卐气路, 通过◣转子流量计控制流量.  ? 自带冷却水循环系统形成冷却水.  制冷系统可保证冷却水温度在30度以下, 无水源要求. ? 微波传输及微波谐ㄨ振腔: 配有环↑行器、水负载和三螺钉阻抗调配器, 可保证微波源的安全工作; 配有微波反射测量系统, 保证⌒等离子体最大限度地吸收微波能.  反应室工作压强: 几帕～十千帕; 反应室极限压△强: 6×10-1帕; 真空反应室石英管腔体尺寸: Φ50mm; 基片温度范围: 200～1000℃; 电磁波功率:0～800W; 接地线＜3Ω.    出厂价: GT2004   ￥128160.00元  需另配光●学显微镜、超∑　声波清洗机、气源.  随机配备基材、金刚石微粉