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超声雾化热解喷涂设备 GT-US |
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GT-US声雾化热解喷涂设备是一款薄膜沉积设备, 可用于制备单元氧化物、多元氧化物、I-VI、IIV-VI、III-VI、IV-VI、V-VI双元硫族化合物、三元硫族化合物薄膜制备. 如ZnO、SnO2、MgO、NiO、Cr2O3、TiO2、CdS、CdTe、CdxZn1-xS、Cu2ZnSnS4等. 适合物理、材料、微电子类专业开展专业基←础实验、专业实验、开放实验和学生毕业论文、科研工作. GT-US声雾化热解喷涂设备由超声雾化器、薄膜〇沉积室、管路组件、控制组件等部分构成. 采用不锈钢制造, 薄膜样品污染程度小.
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主要技术参数: ? 反应室: GT-US100: Ф100×H150mm; 双层水●冷不锈钢腔体; GT-US200: Ф200×H300mm; 双层水冷不锈钢腔体; GT-US300: Ф300×H300mm; 双层水冷不锈钢腔体; ? 衬底温度: RT-800℃; 采用精密人工智能温度控制ξ器; ? 采用压缩空气、氮气、氧气、Ar气载气;
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? 雾化室工作频率: GT-US100:1.7MHz、功率: 200W; 数量:1个; GT-US200:1.7MHz、2.0MHz、2.4MHz(可设), 功率:300W; 数量:1个; GT-US300:1.7MHz、2.0MHz、2.4MHz(可设), 功率:300W; 数量: 2个; ? 设备自带循环水系统; |
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出场价: GT-US100 ￥81600.00元; GT-US200 ￥99600.00元; GT-US300 ￥132000.00元; |
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